产品简介:
石英坩埚:
1.石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今, 世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。
3.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。
4.石英质脆,易破,使用时要注意。
5.除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸22英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产大厂家生产的坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂由美国进口和挪威高纯石英砂两种。也有小厂使用国产料其原料生产的石英坩埚对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
原辅材料
主要原料:高纯石英砂
主要指标:(单位:ppm)
元素名称
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Al
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Fe
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Ca
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Mg
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Ti
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Ni
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Mn
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Cu
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Li
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Na
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K
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Co
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B
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含量
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11.6
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0.3
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0.5
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0.5
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1.0
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0.01
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0.05
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0.01
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0.7
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0.43
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0.42
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0.03
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0.04
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1、辅料:
①石墨电极采用φ76mm粗高纯电极棒
灰份:<80PPm
假比重:1.6g/cm
比电阻:<15×10Ω.cm
抗弯强度:>1.47×10Pa
②石墨模具
灰份:<200PPm
假比重:16g/cm
抗弯强度:>1.67×10Pa
③大尺寸石英遮热板
纯度:Al<200 Na<30 Li<30
Fe<30 K<30
石英坩埚的使用及维护
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石英坩埚主要化学成分是二氧化硅,除氢氟酸外不与其它酸作用,易与苛性碱及碱金属碳酸盐作用。
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石英坩埚对热的稳定性很好,可直接放在火焰上加热
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石英坩埚和玻璃器皿一样,容易破碎,使用时要特别小心
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用石英坩埚可以用硫酸氢钾(钠),硫代硫酸钠(在212摄氏度烘干)等作为熔剂,熔融温度不许超过800摄氏度。